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산업 현장의 데이터를 기술로 연결하고, AI 머신비전과 정밀 제어 연구를 통해
제조 품질과 생산성을 높이는 실용적 혁신을 만들어갑니다.
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광학계 통합 설계를 통한 소형화 검사 장비
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비전 얼라인먼트 시스템 및 이를 이용한 스테이지 이동시 진동 및 흔들림에 대한 오차보정방법
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스테이지 캘리브레이션 시스템 및 캘리브레이션 방법
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플라잉 비전 얼라인먼트 시스템 및 이를 이용한 트리거 지연으로 인한 오차보정방법
특허
다중 초점 영상 획득을 이용한 웨이퍼 3차원 결함 검사 시스템
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